新型谐振MEMS微惯性传感器

2021-04-10 00:00:00

云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn

关键词：微惯性传感器

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所属领域:

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项目成果/简介:

研发生产的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器，达到惯性级，在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比，该陀螺无运动部件，抗冲击性更好；同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式，极大的提升了其应用场合与范围。

项目阶段:

产业化应用

效益分析:

半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等体积小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，惯性级

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