微纳传感器及其集成化与智能化系统

新一代信息技术

基于半导体工艺，通过器件结构设计与优化，研发了场效应晶体管传感器。将传感器结合不同的敏感材料，可用于室温下氧气、臭氧、NOx等多种气体的快速检测。通过模拟IC设计，可将多个传感器与功能电路集成在同一芯片，并可将算法集成在内，构成智能传感芯片。在气体检测方面，整个传感系统具有集成度高、功耗低、响应速度快、灵敏度高、成本低、智能化等优势。可满足多种气体检测的场景需求。

最右侧为制作并封装好的场效应晶体管传感器。传感器上端放置敏感材料，与气体等生化量发生反应。下端的SD两个电极与功能电路连接。通过功能电路将获得的传感信号传输给手机并进行显示。

用于室温下氧气、臭氧、NOx等多种气体的快速传感检测需求，如环境监测、智能建筑等领域。

与同类的气体传感器相比，具有功耗低、灵敏度高、尺寸小、响应速度快、价格低、集成度高、智能化等优势。具有较强的竞争力。