高性能脉冲压缩光栅和合束光栅研发及应用

化学化工

光栅尺寸在国际上居于领先地位，最大达到了 1400mm， 远超对手的 940mm；研制了一系列国内首台(套)具有自主知识产权的米量级光栅研制工艺关键设备；在国际上首创了曝光拼接方法，实现了利用小口径曝光系统，制作出了远 大于曝光系统口径的光栅；掌握了脉冲压缩光栅设计、工 艺容差分析和工艺过程控制技术，通过对曝光监测、显影监测和刻蚀监测来保证光栅制作工艺的稳定性，保证了光栅制作质量；首次对大口径高阈值光栅采用了综合清洗技术处理，提高了光栅的衍射效率和抗激光损伤阈值。 

样品样机测试阶段 

研制的采样光栅已全面用于我国的强激光装置；研制的各种口径高阈值脉冲压缩光栅打破了国外对我国的禁运；研制的高阈值合束光栅已服务于国内几种型号的激光武器系统样机；研制的宽带高阈值压缩光栅将突破国外禁运，为我国飞秒激光的研制和产业化提供核心部件。