一种加工航空领域金属构件基于 CMP 的机器人磨抛系统

航空航天

本发明公开了一种基于 CMP 的机器人磨抛系统，包括六轴机器人、放置工件的工件夹、对需要抛 光工件进行检测并三维重构的轮廓检测单元、带抛光垫的磨轮、安装磨轮的基座、以及主控制器，所述 六轴机器人自由端部设有带伺服电机的电主轴，工件夹上方设有能向工件喷 CMP 抛光液的抛光液喷射 装置，工件夹安装在所述电主轴上，所述主控制器控制轮廓检测单元、六轴机器人、电主轴

产业化应用