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一种用于 MOCVD 设备的喷淋头

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词： 喷淋头
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所属领域:
新能源与节能环保
项目成果/简介:

一种用于 MOCVD 设备的喷淋头，属于气体喷淋装置，解决现

有喷淋头存在的原料气体不能均匀混合的问题，同时减少在喷淋头顶

部出现沉积堵塞喷口的问题。本发明包括底座、下隔板、上隔板、顶

盖和中心导管，顶盖和底盖之间被隔成上层气腔、中间气腔和底层腔

体；多根上层气管平行穿过上隔板、下隔板和底盖，多根下层气管平

行穿过下隔板和底盖，各上层气管和下层气管下端分别装设有长喷嘴

和短喷嘴；长喷嘴和短喷嘴在底盖下表面交错均匀排列。本发明通过

项目阶段:
试用
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