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一种纳米位移执行器

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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所属领域:
电子信息
项目成果/简介:

本发明是一种纳米位移执行器,在衬底(3)的上表面依次设有氧化石墨烯薄膜(2)、薄膜上方承载面(1)构成一个位移传动的承载体,其中薄膜上方承载面作为位移传动的承载面;在所述位移传动的承载体的两端分别设有左密封腔体的密闭墙(4)、右密封腔体的密闭墙(5),在左密封腔体的密闭墙的外端设有环境气氛输出控制管道口(6),在右密封腔体的密闭墙的外端设有环境气氛输

项目阶段:
小批量或小范围应用
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