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一种具有非极性吸收层的紫外探测器

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词: 紫外探测器
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所属领域:
电子信息
项目成果/简介:

本发明公开了一种具有非极性吸收层的紫外探测器,包括:自下而上依次设置的衬底、AlN中间层、非掺杂AlGaN缓冲层、n型AlGaN层、非极性AlxGa1?xN/AlyGa1?yN多量子阱吸收分离层、非掺杂AlzGa1?zN倍增层、p型AlGaN层,在p型AlGaN层上设置的p型欧姆电极,在n型AlGaN层上设置的n型欧姆电极,其中0(x(y(z(1。本

项目阶段:
产业化应用
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