全方位离子注入技术

新材料及其应用

主要研究内容

全方位离子注入技术克服了传统束线离子注入直射性限制，能够在复杂形状零件表面获得具有强膜基结合力和优良表面性能的改性层，在零件表面强化处理领域具有广泛的应用前景。目前，该项技术已经获得了两项国家发明专利，获得了两次国防科工委国防科技进步二等奖，能够实现轴承，齿轮，特种心轴等复杂形状零件的批量处理。

主要技术指标

真空室体积：1m³；本底真空度：<1×10^-4Pa。

金属等离子体源最大沉

小批量或小范围应用