384×288非制冷红外探测器

电子信息

本项目瞄准新一代夜视、监控装备在电力、安全监控等国民经济领域的急需，主要以解决非制冷红外探测器中大阵列、小光敏元、高性能瓶颈问题为突破口，提出了低应力、复用桥墩的器件微桥结构，突破了器件总体设计、纳米氧化钒敏感材料制备、多层复合微桥结构与工艺、读出电路设计等关键技术，在国内首次研制出阵列规模384×288、像元尺寸35μm×35μm的非制冷红外焦平面（UIRFP）探测器，该成果与同期国外同类器件比较，主要技术指标达到国际先进水平（部分属国际领先）；申请发明专利55项（授权15项，申请美国专利3项）；

产业化应用