非制冷红外焦平面探测器技术

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为满足武器装备领域精确制导、夜视枪瞄及单兵头盔系统等国防重点工程对非制冷红外焦平面阵列器件的急需，以打破国外垄断和封锁为目标，提出了以纳米氧化钒多层复合薄膜为敏感材料的单片集成微光腔低应力焦平面结构；突破了在高TCR下氧化钒薄膜的工艺兼容性、片内均匀性和片间重复性技术难题与低热导、小尺寸的微桥结构产生形变的瓶颈；实现了低噪声运算放大器，有效降低了器件的NETD和提高器件占空比的读出电路设计技术。实现了我国UIRFPA探测器的"从无到有、从设计制造到应用"两大跨越式发展。该成果主要技术指标达到国际先

产业化应用