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工业激光器
2021-04-14 00:00:00
云上高博会
https://heec.cahe.edu.cn
关键词：
工业激光器
所属领域:
项目成果/简介:
成果创新点
光栅尺寸在国际上居于领先地位，最大达到了 1400mm，
远超对手的 940mm；研制了一系列国内首台(套)具有自主知
识产权的米量级光栅研制工艺关键设备；在国际上首创了
曝光拼接方法，实现了利用小口径曝光系统，制作出了远
大于曝光系统口径的光栅；掌握了脉冲压缩光栅设计、工
艺容差分析和工艺过程控制技术，通过对曝光监测、显影
监测和刻蚀监测来保证光栅制作工艺的稳定性，保证了光
项目阶段:
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