基于平面镜反射的微悬臂梁偏转检测新技术

其它领域

基于平面镜反射的微悬臂梁偏转检测新技术采用在检测系统外添加平面镜

的手段，进一步提高了微悬臂梁检测的精确度，并且实现了同时对多根梁的往复

检测、实时检测。不仅有效的避免了因移动系统元件导致巨大误差的缺点；而且

极大地提高了检测的效率。该新技术具有检测精度高、系统结构稳定、生产周期

短、成本相对较低、易实现产业化、具有显著的经济效益和社会效益。

国家发明专利授权：201420094273.2（授权），201410075534.0（实质审查）

试用

偏向分辨率：< 5nm；测量元件（单元）：5μl bio-compatible PEEK 流动 池；尺寸规格测量单元：59 cm×32 cm×25 cm；控制电子：14 cm×8 cm×28 cm； 液体流率：2.5μl/min