一种纳米孔电学传感器

电子信息

本发明公开了一种纳米孔电学传感器。它包括基板、第一绝缘层、纳米功能层、电接触层、第二绝缘层、纳米孔；在基板上依次设有第一绝缘层、纳米功能层，在第一绝缘层上和纳米功能层边缘上设有电接触层，在纳米功能层上设有第二绝缘层，在基板、第一绝缘层、纳米功能层和第二绝缘层的中心设有纳米孔。本发明的纳米功能层的厚度可以控制在0.3～0.7nm之间，达到检测单链DNA中的单个碱基的电学特征的分辨率要求，从而适于便宜、快速基因电子测序。本发明的纳米孔电学传感器解决了将纳米功能层集成于纳米孔的技术难点，其制备纳米功能层的方法简单；解决了DNA碱基穿越纳米孔时由于碱基可能存在的不同取向而导致对碱基与纳米功能层的相互作用的影响。

产业化应用