多自由度精密位移平台

其它领域

多自由度精密位移平台由压电马达驱动，包含传感器、驱动器和控制器等部件，是精密仪器运动控制系统的核心部分，也是精密加工设备、医疗设备、微电子制造检测设备、测量仪器、印刷设备、生物医疗设备、自动化生产线的关键组件。其压电马达具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特点，其运动控制部分采用先进的EtherCAT（通用超高速以太网现场总线）方案，使系统不仅更简洁、更灵活，还具有更好的实时性。

本项目产品主要针对医疗设备、精密测量设备和微纳米加工市场，可应用于高端微电子装备、精密仪器仪表、计算机、工业控制系统、航空航天、智能机器人等领域。主要客户为光学,电子显微镜制造商,DNA、细胞及组织检测设备制造商, 纳米材料研究及生产单位。

多自由度精密位移平台重复定位精度：优于1.0μm，最小步长：优于 0.1μm，驱动方式：单相脉冲， 最大速度： 大于 200mm/s， 最大加速度：2g， 最大行程：300mm，可多轴同步驱动：控制时延时不超过100μs。