新型气敏材料及MEMS气敏器件的研究

2021-01-12 00:00:00

云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn

关键词： MEMS气敏器件

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所属领域:

电子信息

项目成果/简介:

复旦大学微电子学院教授卢红亮团队首次结合硬模板法、原子层沉积技术和水热工艺，在低功耗MEMS器件上原位合成了单层有序SnO₂纳米碗支化ZnO纳米线的多级异质复合纳米材料，并以此作为气体传感器，对浓度低至1 ppm的硫化氢实

项目阶段:

未应用

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