光栅制作技术

先进制造与自动化

分光部件常用的光栅有平场凹面光栅、中阶梯光栅和凸面光栅，均是中高档 光谱仪器的核心部件。因此国内光谱仪器欲向中高档水平发展，实现此三类光栅的自主研制和产业化是相当必要的。研制高性能、高分辨率的光栅，摆脱高性能 光栅依赖进口的现状，取得我们自己知识产权的技术，是提高我国光谱仪器水平 的重中之重。研究团队在光栅母版与复制光栅研究工作积累上，已经形成了一套 成熟的刻制、全息和复制光栅的研制技术。具备各方面的研究人员，从各类光栅 的理论研究，光栅消像差设计，到各类光栅研制与检测，积累了丰富的经验，尤 其是通

未应用