阻变存储器集成

2021-01-12 00:00:00

云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn

关键词：阻变存储器

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所属领域:

新一代信息技术

项目成果/简介:

已有样品/n垂直结构的高密度三维交叉阵列，结合了3D-Xpoint以及3D-NAND两种架构的优

势，具有制备工艺简单，成本低廉以及集成密度高等优点。刘明团队在前期四层堆

叠结构的基础上（IEDM 2015 10.2、VLSI 2016 8.4）实现了8层结构的设计，进一

步验证了RRAM三维结构微缩至5nm以下的可能性。

项目阶段:

小批量或小范围应用

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