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西北工业大学
工业和信息化部
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西北工业大学六英寸双面光刻机项目
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
西北工业大学六英寸双面光刻机项目 招标项目的潜在投标人应在详见附件正文获取招标文件，并于2022年10月09日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。
项目基本情况：
项目编号：西工大招采（货）-2022-078号
项目名称：西北工业大学六英寸双面光刻机项目
预算金额：330 万元
采购需求：
项目概况: 六英寸双面光刻机主要用于微电子、MEMS微纳图形加工工艺中高精度的紫外曝光工艺，能够实现4英寸晶圆和6英寸晶圆的双面光刻，具有正面和背面掩膜对准功能，具有手动对准和全自动对准两种对准模式，具有软接触、硬接触、接近和真空四种模式的曝光功能，能实现亚微米分辨率光刻。
工期/供货期：自中标通知书发出之日起270日历天
合同履行期限：详见附件正文
申请人资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
《政府采购货物和服务项目管理办法》
3.本项目的特定资格要求：3.1投标人应具有独立法人资格，具备有效的企业法人营业执照（具有统一社会信用代码）。3.2投标人出具有效的法定代表人身份证明书、法定代表人授权委托书。3.3法定代表人身份证（正反面）和被授权人身份证（正反面）。3.4本项目不接受联合体投标。？ 3.5投标人（及拟派项目负责人）无不良行为记录且当前招投标资格状态有效，相关信息查询以政府诚信平台和学校不良行为记录为准，其中政府诚信平台是指信用中国、国家企业信用信息公示系统。
获取招标文件：
时间：2022年09月07日 至 2022年09月14日，每天上午8:00至14:00，下午12:00至21:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：详见附件正文
方式：详见附件正文
售价：300 元
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-10-09 09:00
开标时间：2022-10-09 09:00
地点：西北工业大学勇字楼120
公告期限：自本公告发布之日起5个工作日。
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