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【政府采购意向】离子注入机
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
采购品目：A032103电子工业专用生产设备
预计采购时间：2022-11
项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】离子注入机
预算金额：2800 万元
采购需求：
拟采购离子注入机一套，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等，支持8英寸及以下尺寸晶圆，能量范围：2.0keV-900keV，剂量范围：1E11~1E16ions/cm2。质保期至少1年。售后服务响应不超过24小时（不区分工作日和节假日）
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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