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【政府采购意向】等离子体ICP-RIE刻蚀机

2022-12-16 14:43:20
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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招标单位：
南京大学
招标年份：
2022 年
所属地区：
江苏省南京市
招标类型：
产品招标
采购方式：
公开招标
项目概况：

采购品目：A02330300 电子工业生产设备

预计采购时间：2022-11

项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】等离子体ICP-RIE刻蚀机
预算金额：390 万元
采购需求：

采购等离子体ICP-RIE刻蚀机一台，参数性能满足：-40到300℃，8气路，RF功率0到600W，ICP功率0到1500W；服务要求：可提供技术支持和售后服务，设备质保期12个月。

提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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