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南京大学
教育部
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【政府采购意向】磁控溅射
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
采购品目：A02052402 真空应用设备
预计采购时间：2022-11
项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】磁控溅射
预算金额：580 万元
采购需求：
采购磁控溅射一台，参数性能满足：真空度1E-9torr，6个2寸或4寸靶，至少2个射频源，600W射频源，1000W DC源，不小于150mm衬底托盘带旋转加热冷却，不低于100WDC偏执，有loadlock，可通载气或保护气体（Ar，N2，O2等），样品台温度800℃；服务要求：可提供技术支持和售后服务，设备质保期12个月。
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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