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吉林大学
教育部
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【政府采购意向】高温超导薄膜沉积系统
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
采购品目：A032103电子工业专用生产设备
预计采购时间：2022-11
项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】高温超导薄膜沉积系统
预算金额：290 万元
采购需求：
拟采购高温超导薄膜沉积系统1套，该系统具有多室多靶高真空薄膜沉积功能，通过磁控溅射和脉冲激光沉积的多室联合来制备钇钡铜氧高温超导薄膜及其他多种类型材料多层膜和复合膜，室内极限真空度≤6.67×10^(-6) Pa，加热温度1000℃±1℃，靶材最大沉积尺寸Φ60mm，超导薄膜均匀性优于±5%，可实现自动送样，靶材切换，沉积速率校正，在线膜层测量控制等。签订合同后8个月以内交货，质保期不低于1年。
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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