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【政府采购意向】超大视场扫描精密定位系统
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
采购品目：A02120199其他长度计量标准器具
预计采购时间：2022-11
项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】超大视场扫描精密定位系统
预算金额：135 万元
采购需求：
主要配置包括：XY轴直线电机气浮导轨位移台，Z轴直线电机位移台，二维扫描振镜，运动控制器以及各运动轴配套的驱动器。 1. XY轴直线电机气浮导轨位移台 1.1 XY轴行程：200mm × 200mm 1.2 定位精度：±0.4μm 1.3 重复定位精度：±0.1μm 1.4 直线度：±0.5μm 1.5 平面度：±0.5μm 2.Z轴直线电机位移台 2.1行程：60mm 2.2 定位精度：±175nm 2.3 重复定位精度：±75nm 2.4 直线度：±1.5μm 2.5 平面度：±1.5μm 3.二维扫描振镜 3.1 通光孔径：10mm 3.2 扫描角度：±20° 3.3 定位精度：50μrad（峰峰值） 3.4 重复定位精度：0.4μrad（均方根值） 4.运动控制器及驱动器 4.1 支持无限视场扫描技术(IFOV) 4.2 直线电机驱动器采用3U结构，集成线性放大器 4.3 支持二维（XY轴）位置同步输出 4.4 支持.Net及C++等编程语言进行二次开发 4.5 高速Hyperwire光纤通讯接口
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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