【政府采购意向】多场耦合磁电光电测试平台

多场耦合磁电光电测试平台包括多功能高分辨磁光克尔显微成像系统与极端低温强磁电学测试系统。其中，多功能高分辨磁光克尔显微成像系统主要配置包括磁光克尔显微镜、高灵敏度CMOS相机、克尔图像处理软件、气浮式隔振光学平台、面内磁场液氮变温系统、微秒级超快磁场模块、控制系统及软件。1. 磁光克尔显微镜 1.1. 带有一套面内磁铁，常温下磁场强度≥1.4T，低温环境下磁场强度≥1T；双极性霍尔探头可以实时反馈和闭环精确控制磁场，磁场控制精度优于1 μT，手动精密位移样品台（XY面内平移和±5°旋转）；2. 高灵敏度CMOS相机 2.1. 该相机的满像素帧率≥4帧/sec；2.2. 该相机的分辨率≥1920(H)x1080(V)； 3. 克尔图像处理软件 3.1. 实时与背底图片作差增强克尔图像效果，能够消除图像漂移，自动增强对比度，添加比例尺；3.2. 能够多张图片做平局以增强显示效果；4. 气浮式隔振光学平台 4.1.平台平面度≤0.1mm/m2；4.2. 平台的粗糙度≤1.6μm。 5. 面内磁场液氮变温系统 5.1. 可实现变温范围77-400K；5.2. 磁场的精确度±50mK。6. 微秒级超快磁场模块 6.1.最大磁场50mT；6.2. 上升特征时间0.5μs。 7. 控制系统及软件 7.1. 面内磁铁波形发生及控制，磁场信号的监测/显示，磁场信号与克尔图像采集时序关系控制，根据克尔信号绘制全局/微区的磁滞回线。 极端低温强磁电学测试系统主要配置包括低温探针台主机、温控装置、显微单元、磁场单元、样品台、水冷机、分子泵，实现半导体及半导体功率器件IV、CV特性测试，配备2.5T垂直磁场（采用超导螺线管）和10K低温，可在不同的磁场、温度和电流下根据测试结果计算出电阻率、霍尔系数、载流子浓度和霍尔迁移率。 1. 低温探针台主机 1.1 温度范围要求：10K-500K； 1.2至少四个直流探针臂（预留光纤接口）； 2. 温控装置 2.1温度稳定性：优于±100mK，小于100K时优于±50mK； 2.2 配置温度传感单元与温度控制单元，可通过软件控温； 3. 显微单元 3.1 综合放大倍率不小于500倍； 3.2 显微分辨率优于5μm； 4. 磁场单元 4.1磁场垂直方向，中心磁场最大±2.5T； 4.2磁场均匀性：0.5%中心10mm直径球体，1%中心20mm直径球体； 5. 水冷机 5.1 名义制冷量：8KW @25℃ 5.2 控温方式：启停 6. 分子泵 6.1 前级泵（干式真空泵）：MVP 015 6.2 前级泵抽速（50 HZ）：3m3/h 多场耦合磁电光电测试平台需求为1台，质保期为12个月。