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东南大学 > 高校采购 > 正文

【政府采购意向】原子层沉积

2022-12-13 16:24:20
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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招标单位：
东南大学
招标年份：
2022 年
所属地区：
江苏省南京市
招标类型：
产品招标
采购方式：
公开招标
项目概况：

采购品目：A033499其他专用仪器仪表

预计采购时间：2022-11

项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】原子层沉积
预算金额：210 万元
采购需求：

购置1台。 1.要求反应腔体可以用来沉积8英寸（200毫米）的衬底，兼容8英寸以下的衬底。 需要配置的4条管路均须配置独立的质量流量计（MFC）、压强传感器、脉冲阀，液态源与加热源分别配置独立的温度传感器。

提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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