采购品目:A03专用仪器
预计采购时间:2022-11
聚焦离子束电子束双束显微镜(FIB-SEM)与飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)、共聚焦拉曼、能谱(EDS)深度集成,可以完成离子束加工,TEM样品制备等工作,同时可以用于高分辨表面形貌分析和实现微区的高灵敏度成分、结构分析以及大面积快速的三维重构分析,可以进行ppm级痕量元素的分析、轻元素微区分析以及快速的离子束加工,同时具有原位拉曼微区分析和快速拉曼成像的功能。同时,该设备可用于复杂材料样品和半导体芯片的加工制样工具,制备用于透射电镜高分辨观察的超薄试样。
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