采购品目:A02100301显微镜
预计采购时间:2023-02
形状测量激光显微系统,数量:1套。 该系统主要用于实验室微加工器件的研制,采集材料表面三维形貌并测量相关三维形貌尺寸。 主要技术参数: (1)光源:具有激光或白光光源;激光:波长≤404nm紫色半导体激光;白光为LED光源; (2)a.激光共焦;b.聚焦变化;c.双扫描功能:可以通过自动调节激光强度来进行正常和高曝光两次扫描,克服明暗差异大的样品表明扫描; (3)xy显示分辨率≤0.1nm;Z轴测量:Z轴驱动采用物镜转盘上下电动驱动方式;Z轴显示分辨率:≥0.1nm; (4)物镜:全部为激光共聚焦扫描显微镜的专用物镜:至少包括10X,20X,50X,100X; (5)稳定测量倾角≥87.1度的斜面,XY载物台电动运行范围≥100mm*100mm,软件可以实现2D、3D图像观察,并能通过图像测量长度、高度、角度、面积、体积、粗糙度(ISO)等精确测量。具有表面形貌测量、透明膜厚测量等模式。可以通过自动调节激光强度来进行正常和高曝光两次扫描,来克服明暗差异大的样品表明扫描。 交付时间:6个月; 交付地点:中山大学东校区化学材料综合楼 售后服务要求:保证仪器培训和两年质保
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